När längden i en riktning är mindre än längden i de andra två riktningarna, kallas denna struktur en tunn film. Nuförtiden är den kontinuerliga tillämpningen av mikroelektroniska filmer, optiska filmer, anti-oxidationsfilmer, jättemagnetoresistiva filmer, hög-temperatur supraledande filmer, etc. i industriell produktion och mänskligt liv, tjockleken på filmer som produceras i industrin är en mycket viktig parameter, direkt Det är relaterat till om filmmaterialet kan fungera normalt.
Normalt avser filmens tjocklek avståndet mellan substratets yta och filmens yta. Faktum är att filmens yta är ojämn och diskontinuerlig, och det finns nålhål, mikrosprickor, fiberfilament, föroreningar, gitterdefekter och molekyler adsorberade på ytan. Till exempel kommer olika tunna filmer i produktionsprocessen av storskaliga integrerade kretsar att ha en direkt inverkan på prestanda hos integrerade kretsar på grund av den kontinuerliga förbättringen av graden av kretsintegration och eventuella små förändringar i den tunna filmens tjocklek. Dessutom är de mekaniska egenskaperna, ljustransmissionsegenskaperna, magnetiska egenskaperna, värmeledningsförmågan, ytstrukturen etc. hos tunnfilmsmaterialen nära relaterade till tjockleken. Därför är noggrann onlinemätning av filmtjocklek i produktionsprocessen ett viktigt medel för att säkerställa produktkvalitet och förbättra produktionseffektiviteten.
För noggrann mätning av filmtjocklek beror det på vilken typ av tjocklekssensor som används. För närvarande finns det huvudsakligen flera metoder för online-filmtjockleksdetektering:
1. Beta-sond är den tidigaste sensorn som används för tunnfilmsdetektering. Den använder betastrålningskälla som signalkälla, och tekniken är mogen. Det krävs dock tillstånd för användning av radioaktiva källor och import- och exportförfarandena är relativt komplicerade. Det finns en halv-livsgräns för livslängden, och detekteringsnoggrannheten kommer att minska med dämpningen av den radioaktiva källan.
2. Infraröda sonder använder principen att specifika infraröda band absorberas kraftigt i specifika plastfilmer för att mäta filmens tjocklek. Sensorn är stabil i detektering och påverkas inte av förändringar i miljön, men den är känslig för förändringar i tillsatser och färger, och den är inte lämplig att producera flera produkter på samma produktionslinje.
3. Röntgensonden använder röntgenröret för att generera röntgenstrålar som en signalkälla för att detektera tjockleken på plastfilmen. Det finns många fördelar: flygande radioaktivt material; lågenergi kräver inte licens; ett brett mätområde; hög mätnoggrannhet; alla typer av plaster kan mätas utan att påverkas av tillsatser och färgförråd.
För närvarande har filmtjockleksmätinstrumentet utvecklats till hög precision och automatisering och har nått en mycket hög nivå. Dess mätnoggrannhet är ±2% till ±5% av den uppmätta filmtjockleken för det allmänna filmskiktet och ±2nm för den tunna filmen, och har mikroareamätfunktion, snabb mäthastighet och hög grad av automatisering. Speciellt med teknikens framsteg och tillämpningen av precisionsinstrument, förutom ovanstående detekteringsteknikmetoder, kan tjockleken på filmen också mätas med en ultraljudssensor. MaxBotix ultraljudssensor som rekommenderas av Gongcai-MB7480 är högpresterande ultraljudsavståndsmätare som kan ge hög precision och högupplöst ultraljudsavståndsmätning i luften.
